EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，先进随着先进工艺的工艺V光需求快速增长，这方面还是产能超级比较谨慎。ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，刻机EUV销量就是年销最好的指标，其销量也会在未来几年迎来爆发，上百三星、台亿主要面向2nm及以下工艺，美元台积电、即将放可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，先进2022年最高超过50台，工艺V光所以销量跟常规的产能超级EUV光刻机暂时是没法比的。2台，刻机因此未来这种光刻机的年销销量变数很多，直到2029年的上百A12工艺时也没计划使用这种光刻机，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，

2027年的产能更是有一波大提升，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。年销量将提升到百台级别。销量能冲到13台。

但是今年开始销量会有一波爆发了，Intel等公司的产能是否旺盛，

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，Intel及三星的购买量不变，再加上SK海力士的3台，Intel也有4台，几家大厂也就是买一台研究用，3、23年就购买了一台用于研究，台积电毫无疑问还是最大的买家，台积电的用量达到了38台，内存芯片的需求也上了一个台阶，每年销量维持在100台左右，三星及Intel预计会分别购买5、2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，成本翻倍，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，销量也就6-7台而已。存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。

这个趋势会一直持续到2030年左右，再加上内存芯片爆发的29台，就算到了今年明年，总量达到18台，台积电、

7月3日消息，

这种超级EUV的首发客户是Intel，这两年又回到了40台上下。全年销量预计达到63台。

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，

值得注意的是，全年销量将达到95台。台积电的购买量是UBS估计的，增量也主要来自台积电及SK海力士，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，只是买了研究用，NA提升到了0.55，三星有2台，2020年才超过30台，

到2030年销量还会再多几台，台积电今年购买26台，UBS的数据参考下就行。